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多级罗茨型干泵Model:GR干泵"Model:GR"是以获得良好业绩和信赖的"Model:LR/HR"为基础设计的,面向一般产业设计的简单结构的泵。GR60GR90GR180特点可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域,可在高负荷下持续使用。适用loadlock室(装载/卸载室),可实现高吞吐量。感应电机可通用可以安装防爆电机等特殊电机(可选)采用多电压兼容电机用途空气、惰性气体等洁净气体的真空排气各种成膜设备放入取出室的真空排气真空干燥,真空气体置换和真空脱泡等一般产业真空...
多级罗茨型干泵Model:LR通过低温区域的泵体均热化,在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。特点低温区域均热化(Model:LR)在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。氦气密封通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。瞬停对策采取了1000msec以内瞬停对策。出色的耐腐蚀性主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。通信...
多级罗茨型干泵多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。在FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子,它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触,或者转子与壳体不接触,并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构,将其压缩至大气压,并将其排放到大气中。转子外壳内不使用油或其他密封液体,可实现清洁排气。齿轮和...
螺杆型干泵Model:LS"Model:LS"真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该Model产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。LS120ALS300ALS600A特点■大气压附近的排气速度最大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。■标配的专用消音器能解决干式真空泵的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以...
螺杆型干泵Model:MS特点通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。采用ULVAC设计的转子轴,实现高性能的排粉。从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。用途半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。规格型式MS120AMS600AMS1...
带有AstraProEMR软件的AstraBT手持式肺活量计货号#:310150带有AstraPro软件的AstraBT手持式肺活量计AstraBT是一款无线肺活量计,配有两节AAA电池,可为职业健康专业人员以及初级保健诊所和医院提供移动性。肺活量计随附AstraPro软件。特征:测试:FVC/支气管扩张、VC、MVV和支气管收缩(+40个参数)。同时显示F/V和V/T图多个激励图超过20个国际参考文献包括具有LLN和Z分数参考值的Quanjer2012-GLI趋势报告,查看...
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