液体质量流量控制器的原理

液体质量流量控制器是气体质量流量的自动控制装置，液体质量流量计是测量液体质量流量的装置。

质量流量控制器的流量控制原理是利用热容的质量流量测量原理和流量控制阀的PID控制，通过调节开度来自动控制质量流量。

液体质量流量控制器特点[LINTEC]

LINTEC的液体MFC/MFM（质量流量控制器）对应半导体行业对TEOS等液体汽化供应技术的需求，提供于世界的液体质量流量控制技术。

液体质量流量控制

液体流量测量对象包括体积流量和流速，从精度と稳定性的角度来看，微小流量的液体质量流量控制已成为半导体成膜工艺中的技术。

高精度

在半导体制造过程中，薄膜是通过蒸发TEOS（原硅酸四乙酯）等液体源来形成的，它比气体更便宜且更易操控。在制造过程中，供应量较大，最新原材料往往采用低蒸气压材料。 在传统的气体MFC烘烤法烘焙法中，供给量和耐热温度成为瓶颈，因此诞生了温度限制少且供给量大的直接气化法。然而，在直接汽化法中，由于反应气体的流量是在液相中控制的，因此即使很小的误差也会严重影响反应。

以H2O为例，如果1ml液相在0℃理想条件下汽化，则会膨胀至1,244ml。由此可见，对微小流量进行高精度的流量控制、汽化并使其反应，已成为半导体制造设备中的技术。

稳定性

液体流量计使用范例

1ml/min以下的流量控制装置中包括计量泵，计量泵由于连续的机械切换操作而产生脉动。 没有机械切换的注射泵不会产生脉动，但泵的容积有限，不适合连续供给。

另外，当通过控制流量将液体引入真空装置时，由于计量泵存在压差，无法得到稳定的流量。

液体MFC的流量控制是将气体等加压至恒压的液体引入液体质量流量控制器，用内部流量传感器检测瞬时流量，不断控制阀门开度，即使二次压力减压或在大气压下也可实现恒定流量控制。

液体MFC/MFM相关产品

液体MFM（质量流量计）

高性能液体MFM（质量流量计）

LM-3000L

特点：微流量液体测量，PID控制信号（带汽化器和CV设定），金属密封件，无尘

选配规格：高温兼容

液体MFC（质量流量控制器）

高性能液体MFC（质量流量控制器）

LC-3000L

特点：微流量液体控制，金属密封件，无尘

科里奥利液体MFC（质量流量控制器）

LC-4000

特点：无需CF、大流量液体控制、无尘

应用质量流量控制器技术的其他产品

液体控制阀【CV-1000】

CV-1000

特点：比例电磁阀，金属密封件，无尘

搭载微小流量液体传感器并内置PID控制器的高性能数字通讯液体质流控制器。

LM-3000L系列搭载高性能液体流量传感器，可对C2H5OH换算满量程0.1g/min～20g/min实现高度精确的流量测量。

由于它具有内置PID控制器，因此可以通过与LINTEC的阀门搭载产品（汽化器，控制阀）结合使用来控制液体的流量。

LM-3000L

特点

• 微小流量的液体测量

• 液体气化的流量控制

• 精度范围±1%F.S.

• 金属密封件

• 无尘生产（粒子标准监控）

• RS-485数字通讯接口

选配规格

• 耐高温

• 无菌蒸汽（SPI）处理

使用范例

液体汽化流量控制

通过将液体质量流量计（LM-3000L）与LINTEC内置控制阀的汽化器（VU）相结合，可以控制在汽化室之前引入汽化器的流量。因此，实现了应答速度快的汽化流量控制，且不受汽化器热量的影响。

液体流量控制

通过将LINTEC的控制阀（CV-1000）与带有内置PID控制器的液体质量流量计（LM-3000L）相结合，可以用作液体质量流量控制器。

规格表

※此表仅表示一般规格的液体用MFM。　根据选配规格变化。
※F.S.根据液体种类不同而变化。详细请咨询LINTEC。