产品分类
西门子
过程气体分析仪
激光
于氧浓度测量的一体化激光气体分析仪
发射器:JPEx 防爆 Ex db II.C T6 Gb接收器
:JPEx 防爆 Ex db II.C T6 Gb
工艺气体中所含的气体分子(如氧气)具有吸收近红外线的特性,气体浓度可通过其吸收强度来确定。 由于该吸收带(波长)根据分子的类型而变化,因此可以通过选择要测量的分子的吸收波长来测量气体浓度,而不会受到其他分子的干扰。 发射传感器单元内置的二极管激光器产生的近红外波长激光通过会聚透镜和窗口投射到工艺气体中。 发射的激光被工艺气体中的氧分子吸收,然后被接收侧的传感器单元接收。 接收侧的传感器单元有一个内置的在线参考单元,激光束穿过这个参考单元到达光电探测器。 西门子专有的曲线拟合算法用于计算接收激光束的氧浓度,从而消除了工艺气体压力的变化和背景气体对测量值的影响。 此外,在线参比池封装有氧同位素 (18O2 ),并且始终通过参考该 18O 2 的吸收信号进行激光自校准。 实现长期稳定的测量。
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