ULVAC爱发科YM-RL系列罗茨泵机组YM-RL-301A

更新时间：2025-03-31

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ULVAC爱发科YM-RL系列罗茨泵机组YM-RL-301A

YM-RL系列罗茨泵机组

组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。

用途

冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

优点

• 无油、干燥、清洁。

• 在低温领域的均热化。

• 大抽速，可以缩短排气时间。

• 优良的耐腐蚀性。

• 低噪音、低震动。

技术参数
抽气速率曲线

* 1 用皮拉尼真空计测定的值。

* 2 不作为推荐系列。

* 3 冷却水不得有结露。

* 4 用调节阀所调整的压力表的值。

* 5 氮气（密封气体）流量5L/min是固定值。

YM-VD / VS系列罗茨泵机组

组成

YM-VD / VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。

用途

• 蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等。

• 单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。

• 真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。

• 冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。

技术参数
抽气速率曲线

* 1 用皮拉尼真空计测定值。
* 2 标准电机为50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V或50Hz-200V、60Hz-200V/220V。
* 3 VDN301泵在50Hz使用时的电机为1.1kW;而60Hz使用场合，电机应配1.5kW。
* 4 各种泵油的性能是不同的，因此，为避免影响泵的性能，请使用本公司的真空泵油。
* 5 NB300B的吸入口在530Pa以上进行连续运行时，必须用水冷却（2L/min)。

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