RIGAKUT日本理学XHEMIS TX-3000V 内置 VPD 的 TXRF 光谱仪

更新时间：2025-04-23

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XHEMIS TX-3000V

VPD 的最高灵敏度

兼容最大 300 毫米的晶圆

技术	全内反射 X 射线荧光光谱法（TXRF）与气相分解（VPD）
用	微量元素表面污染测量 niyoru 1E7 原子/cm² 检测限标测速度提高约 3 倍
科技	集成自动 VPD 制备、三光束激发和自动光学元件更换
主要组件	三探测器配置：高功率 W 与阴极 X 射线源（9 kW 旋转与阴极） 3 种激发能量，针对轻元素、过渡元素和重元素进行了优化 XYθ 样品台双 FOUP 负载端口
特征	全晶圆映射（SWEEPING-TXRF）零边缘排除（ZEE-TXRF）集成自动 VPD 预处理（VPD-TXRF）用于硅晶圆的双 FOUP 加载端口，可实现最高灵敏度
选择	背面分析（BAC-TXRF） GEM300 软件，E84/OHT 支持气相处理（VPT-TXRF），以提高灵敏度，同时保留空间信息 VPD 用于亲水性晶圆表面（例如 SiC）
本体尺寸	1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H）（不包括显示器和信号塔）
测量结果	定量结果、光谱图、彩色等值线图、映射表