TXRF 3760 系列日本理学RIGAKUT 全内反射 X 射线荧光光谱仪

更新时间：2025-04-23

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TXRF 3760 系列

对晶圆表面的污染进行无损、非接触式和高灵敏度分析

过渡金属 LLD 10 采用直接 TXRF 测量方法8 原子/厘米2达到水平。在封闭 X 射线管测量时间的 1/3 内即可实现相同的精度，从而实现高通量。

产品名称	TXRF 3760 系列
技术	全内反射 X 射线荧光（TXRF）
用	从 Na 到 You 的元素分析以测量晶圆污染
科技	带无液氮检测器的 3 光束 TXRF 系统
主要组件	适用于最大 200 mm 晶圆的 XYθ 样品台系统、真空晶圆中的机器人传输系统、ECS/GEM 通信软件
选择	Sweep TXRF 软件（能够映射晶圆表面的污染物分布以识别“热点"）。 ZEE-TXRF 功能可实现零边沿排除测量）
控制（PC）	内部 PC、MS Windows®作系统
本体尺寸	1000 （宽） x 1760 （高） x 948 （深）毫米
质量	100 kg（主机）
权力	三相 200 VAC 50/60 Hz，100 A