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更新时间：2025-05-12 
浏览次数：24简单的齿轮齿条驱动提供了*的可靠性。 在真空阀中，孔的电导性能*。
01. 由于阀门开度可在 0 度 ~ 45 度和 90 度（全开）两个位置作， 单个阀可用于慢速排气和高速排气。
02. 除了通常的全闭（Fully Closed）和全开（Fully open）气缸外， 两级气缸，阀开度可在 0 度 ~ 45 度范围内任意设定 结构。
03.气缸虽然小，但打开时推力加倍（运行可靠），行程结束时具有气垫效果（减震）。
04. 关闭时，阀体密封。
05. 对安装姿势或安装方向没有限制。
06. 表面空间薄，电导性能优异。
07. 在无尘室中组装和检查。
| 法兰格式 | JIS、ISO、KF（NW）、CF |
|---|---|
| 口径 | 25A ~ 350A |
| 泄漏量 | 1×10-9 帕米3/s 或更低 |
| 使用区域 | 105~10-5 帕 |
| 气体接触材料 | SUS304型 |
| 盘式密封 | 氟橡胶 O 型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶 O 型圈 |
| 工作气压 | 0.4~0.6 MPaG |
| 开/关指示 | 带微动开关（用于打开/关闭每个位置的检测） |
* 也可制造特殊规格。
* 此规格如有更改，恕不另行通知。
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