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LINTEC林泰克高温热交换器HX-0100C北崎热卖

更新时间:2025-06-11      浏览次数:52

小型气体加热器(热交换器)

瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。

小型气体加热器的用途

  • 可加热各种流体

  • 瞬间且稳定的流体加热

  • 质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热

LINTEC林泰克高温热交换器HX-0100C北崎热卖

各种流体加热

该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块,加热部分与流体不直接接触,可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。

瞬间且稳定的流体加热

在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。

通常,配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点,即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心,从而达到稳定加热的目的。

质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热

在半导体制造工艺中,不仅需要对气体进行加热处理,气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量,加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构,适合与质量流量控制器输出端连接使用。


高温热交换器HX-0100C

可将100SLM的N2气体加热至300℃的小型热交换器。

特点

LINTEC林泰克高温热交换器HX-0100C北崎热卖

  • 最大流量100SLM(N2换算)

  • 最高使用温度300℃

  • 接触气体部分接采用SUS316L不锈钢材质,可加热对其无腐蚀性的气体

  • 真空、加压条件下也可使用

使用范例

气态前驱体的预热

由于化学反应的效率受温度影响,因此需要反应气体的温度进行控制。HX-0100C系列热交换器的接触气体部分采用SUS316L不锈钢材质,能够以最高300℃的温度加热流体,是用于气态前驱体预热的理想选择。

规格表


流量(N2换算)压力损失(N2)耐压(G)使用温度接触气体部分材质
规格100SLM9.8kPa1MPa300℃SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。





电话:TEL

86-010-67868591

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朝阳区住邦2000商务楼A座1号楼406B

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