日本ULVAC双绕式涡旋泵DIS-90北崎热卖

更新时间：2025-09-09

浏览次数：20

涡旋式干泵

涡旋式干式真空泵是通过螺旋定子和转子的联合运动来排气的干式真空泵。
用途广泛，包括真空干燥设备、理化分析设备、真空吸附输送设备、真空热处理炉等。

涡旋式干式真空泵由两个形状相同的涡旋体组成，涡旋体的中心稍微偏移，使它们的壁彼此线接触，从而一侧相对于另一侧进行摇摆运动，其结构是这样的。被困在月牙形空间中的气体被向中心压缩并从中心的孔排出。压缩过程通常设计为发生两次或多次，从而产生较低的振动和噪音。极限压力可达1Pa。

涡旋式干泵Model:DIS-90

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。

用途

分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺

规格

　Unit50Hz60Hz设计排气速度度※1L/min90108极限压力Pa (kPa)5.0使用电动机※2　单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転全负荷电流A2.6/1.3/1.6(100/200/230V)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)重量kg14.0吸气口径　KF-25排气口径　KF-16使用环境温度范围℃5～40水蒸气处理量g/day≦5 以下（AF開時※3, 室温25℃, 湿度60％以下）噪音水平dB≦52 （AF開時※3, ≦57）最大尺寸mm214(W)×308(L)×225(H)

※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
　　　　　　空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。

对应标准/电压

型号认证标准※ＣＥ自我宣言1Φ、100V系1Φ、200V系3Φ、200V系3Φ、400V系DIS-90cTUV●●（可以通过更换端子板切换）--

●：标准、○：可选对应、－：对应不可
※ｃＴＵＶｕｓ认证：本产品是通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准的高质量产品。

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。请使用吸气阱。
２	吸入有害气体如爆炸性气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。

尺寸图

排气速度曲线

上一篇：日本ULVAC双绕式涡旋泵DIS-501北崎热卖
下一篇：日本ULVAC涡旋式干泵DIS-252北崎热卖