TG800F日本大阪真空OSAKA半导体生产用任何方向类型涡轮分子泵北崎热卖

更新时间：2025-11-08

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任何方向类型 TG-F 系列

使用油脂润滑球轴承，用于小型、轻便和低成本的泵。抗冲击设计使涡轮分子泵能够安装在移动设备或运动部件上。产品阵容提供从 50 L/s 到 2400 L/s 的型号。

润滑脂润滑球轴承型涡轮分子泵的横截面

ターボ分子ポンプ断面図（グリス潤滑玉軸受形

产品阵容

TG800F

■ 任何方向

■ 紧凑的尺寸

■ 节能

■ 快速启动

■ 带排气口快速关闭

■ 用于涌入空气的耐用结构

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 通过安全标准NRTL/SEMI-S2/CE

应用

■ 半导体生产

■ 电子枪排气、电离源排气

■ FPD制造

■ 表面处理、表面改性

■ 各种电子元件的制造

■ 分析、检测设备

■ 灯具生产、光学元件生产

■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究

■ 热处理

■ 研究与开发

*如果排出腐蚀性气体，请选择我们的化学用TG-M或TG系列。

*1 ：使用500L/min的前级真空泵时。

*2 ：因电源型号而异。（标准：TC1104）

*3 ：如果风冷，则必须更换风冷风扇。（TG800F***-60）

[使用环境温度]

确保达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水最高温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。

[对应气体]

一些使用气体会使润滑脂和内部零件变质。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。