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更新时间:2025-11-08
浏览次数:22任何方向类型 TG-F 系列
使用油脂润滑球轴承,用于小型、轻便和低成本的泵。抗冲击设计使涡轮分子泵能够安装在移动设备或运动部件上。产品阵容提供从 50 L/s 到 2400 L/s 的型号。
润滑脂润滑球轴承型涡轮分子泵的横截面

产品阵容
TG2400F

■ 任何方向
■ 紧凑的尺寸
■ 节能
■ 快速启动
■ 带排气口快速关闭
■ 用于涌入空气的耐用结构
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 通过安全标准NRTL/SEMI-S2/CE
应用
■ 半导体生产
■ 电子枪排气、电离源排气
■ FPD制造
■ 表面处理、表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析、检测设备
■ 灯具生产、光学元件生产
■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理
■ 研究与开发
*如果排出腐蚀性气体,请选择我们的化学用TG-M或TG系列。
Model | TG2400F | TG2400F-40 | |
Inlet flange | VG250/ISO-B250 | ||
Volume flow rate | N2 (L/s) | 2400 | |
N(with protective screen) (L/s) | 2300 | ||
H2 (L/s) | 1100 | ||
Max. compression ratio | N2 | 1×108 | |
H2 | 1.4×103 | ||
Base pressure | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
Max. throughput※1※2 | (sccm) | 900 | 1500 |
Startup time | (min) | 5-7 | |
Shutdown time | (min) | 15-18 | |
Max. backing pressure | (Pa/Torr) | 200/1.5 | |
Recommended backing vacuum pump | (L/min) | ≧500 | |
Position | Any orientation | ||
Weight (kg) | Air cooling Water cooling | 45 47 | |
Controller | TC2403 | TC2403-10※3 | |
*1 : 使用1000L/min的前级真空泵时*
2 : 因电源型号而异。
*3 : TG2400F-40
[使用环境温度]
确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C,水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水最高温度为30°C,冷却水允许温度范围为10-35°C。
[对应气体]
一些使用气体会使润滑脂和内部零件变质。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。
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