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更新时间：2025-11-26 
浏览次数：32TG50F
任何方向
紧凑尺寸
节能
快速启动
用燃气排气快速关闭
用于冲击气流的坚固结构
串行通信
※RS232C 串行接口
应用
半导体生产
电子枪排气，电离源排气
FPD制造
表面处理，表面改性
各种电子元件的制造
分析与测试设备
灯具生产，光学元件生产
加速装置、辐射设施、核聚变研究
热处理
研究与开发
*如果排放腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M系列或TG系列。
| 型 | TG50F | |
| 进气法兰 | VG65/ISO-R63/CF63 | |
| 流量 | N2（L/s） | 51 |
| N2（带防护 屏障）（L/s） | 49 | |
| H2（L/s） | 12 | |
| 压缩比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 基压 | VG・ISO-R/CF（宾夕法尼亚州） | <3×10-6 |
| VG・ISO-R/CF（托尔） | <2.3×10-8 | |
| 吞吐量※1 | N2（SCCM） | 80 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 停工时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 背压 | （帕/托尔） | 1330/10 |
| 推荐的倒吸真空泵 | （L/min） | ≧50 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG・ISO-R/CF（kg） | 4.2/6 |
| 控制器 | TC64 | |
*1：使用100升/分钟的备份真空泵时。
[环境温度使用]
确保达到最终压力的环境温度范围为10-23°C。允许的环境温度为空气冷却类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。确保最终压力的冷却水温度为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。
[对应气体]
一些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。
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