日本大阪真空OSAKA涡轮分子TG220F用于热处理北崎热卖

更新时间：2025-11-26

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TG220F

■ 任何方向

■ 紧凑尺寸

■ 节能

■ 快速启动

■ 快速关闭并用煤气排气

■ 耐久结构以适应冲入空气
※冲入测试（连续400次）

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 认证安全标准NRTL / SEMI-S2 / CE

TG220F

应用

■ 半导体生产

■ 电子枪排气，电离源排气

■ FPD制造

■ 表面处理，表面改性

■ 各种电子元件的制造

■ 分析、测试设备

■ 灯具生产，光学元件生产

■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究

■ 热处理

■ 研发
*如果消耗腐蚀性气体，请选择我们的化学用途TG-M或TG系列。

规格
尺寸
性能曲线
控制器

进气法兰		VG100 ISO-R100 CF100
流量	N2（L/s）	220
	N2（带防护屏障）（L/s）	210
	H2（L/s）	100
最大压缩比	N2	1×108
最大压缩比	H2	4×102
基压	（宾夕法尼亚州）（托尔）	<1×10-6 <7.5×10-9
最大吞吐量※1	（SCCM）	400
启动时间	（分钟）	1-1.2
停工时间	（分钟）	2.5-3.5
最大背压	（帕/托尔）	260/2
推荐的倒吸真空泵	（L/min）	≧80
位置		任何方向
重量	VG・ISO-R/CF（kg）	5.5/8
控制器		TC223

*1：使用160L/min的后备真空泵时。
[使用环境温度]
确保达到最终压力的环境温度范围为10-23°C。允许的环境温度为风冷类型为10-32°C，水冷类型为10-40°C。冷却水的最高温度（保证最终压力）为30°C，冷却水允许的温度范围为10-35°C。
[对应气体]
某些服务气体会腐蚀润滑脂和内部部件。请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。

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