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更新时间：2025-12-27 
浏览次数：13osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC
osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC
ER系列：节能多级根泵
ER系列通过其独特的转子设计和怠速功能实现了世界**的节能和紧凑性能。凭借耐腐蚀选项，ER系列可在轻型领域如负载锁和SEM到腐蚀工艺等广泛应用中运行。
-ER100D/ER100DC在能源效率、轻便和紧凑性方面均为同级*佳之一。
极限压力下
能耗：400W
占地面积：0.11米2
重量：60公斤
- 有两种类型可供选择。
ER100D：用于轻负载、非腐蚀性气体泵送
ER100DC：采用防腐材料，用于腐蚀性气体泵送
应用
- 清洁排气
系统 - 溅射系统
- TMP
的后备真空泵 - 负载锁定与转移室
- 小型实验室系统
- 小型炉子
- 分析设备
- 离子源，电子枪
| 模型 | ER100D/ER100DC | |
| 体积流量（L/min） | 1670 | |
| 基压（Pa） | 5.0 | |
| 极限压力（W）下的能量消耗 | 400 | |
| 电源 | 电压（V） | 200-220 |
| 频率（Hz） | 50/60 | |
| 阶段 | 三相 | |
| 功率能力（kVA） | 3.2 | |
| N2气体净化通量（Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷却系统 | 水冷 | |
| 所需流量（L/min） | 1.5-3.0 | |
| 所需温度（°C） | *多30人 | |
| 体重（公斤） | 60 | |
[对应气体]
某些需要抽空的气体可能会损坏泵。
请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。
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