北京七星华创集成电路装备有限公司业务简介

更新时间：2026-06-05

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北崎国际贸易（北京）有限公司供货

北京七星华创集成电路装备有限公司（简称“七星华创"）是北方华创科技集团旗下的核心子公司，专注于集成电路制造装备的研发与生产。

主要业务：为晶圆制造、先进封装、微机电系统等领域提供关键工艺设备，核心产品包括刻蚀机、薄膜沉积设备（PVD、CVD）、氧化/扩散炉及清洗机等。

关键设备与工艺：

刻蚀设备：用于在硅片上精密去除材料，形成纳米级电路图形，支持硅、介质及金属刻蚀。

薄膜沉积设备：通过物理或化学气相沉积（PVD/CVD），在晶圆表面生长导电或绝缘薄膜，用于互连和介质层制备。

扩散/氧化炉：实现高温掺杂（如磷、硼扩散）和氧化层生长，控制器件电学性能。

单片/槽式清洗机：去除工艺中的颗粒与金属污染，保障良率。

公司产品已进入国内主流晶圆厂生产线，在28nm及以上制程实现量产，部分设备突破14nm，是国产化替代的关键力量。

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