EBARA荏原 EV-PA500紧凑型干式真空泵中流量洁净真空简介

更新时间：2026-08-19

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EBARA荏原 EV-PA500紧凑型干式真空泵中流量洁净真空

聚焦中小腔体洁净真空、分析仪器配套、小型产线真空工艺场景，北崎国际全新发布代理新品EBARA EV-PA500紧凑型干式真空泵。该机型为荏原全新轻量化迭代新品，兼顾大抽速、小体积、易运维优势，适配空间受限、需求高效洁净真空的工况场景。

EV-PA500采用无油干式真空结构，全程洁净抽气，无油污、无杂质污染，规避油式真空泵的返油污染问题，适配精密分析仪器、光学样品处理、半导体小件加工、真空检漏等高洁净场景。新品搭载宽电压单相供电设计，适配国内常规用电环境，无需变压器适配，风冷散热无需水冷，安装部署灵活便捷。

设备额定抽速500L/min，真空性能优异，关气镇极限真空可达0.5Pa，开启气镇可耐受微量水汽工况，适配真空干燥、脱泡、腔体置换、设备检漏等多元化工艺。机身紧凑轻量化，占地极小，可台面放置、机柜内嵌安装，适配实验室、仪器机房、小型自动化产线狭小空间部署。

新品运行稳定、噪音低、震动小，非接触转子结构磨损极低，易损件少，日常仅需维护进气滤芯，长期运维成本低廉。相较于小规格泵型，抽气效率大幅提升，可适配中等容积腔体快速抽真空，缩短工艺节拍，提升生产与实验效率。

北崎国际代理EBARA荏原全系真空设备，EV-PA500全新紧凑型新品现货充足，原厂质保，可对比各规格泵型选型，提供真空系统适配与调试服务。

EBARA荏原 EV-PA500紧凑型干式真空泵 中流量洁净真空 简介