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EBARA 荏原 EV-S20 (P/N) 干式真空泵 小型洁净科研半导体紧凑型真空 简介

更新时间:2026-10-22      浏览次数:10

EBARA 荏原 EV-S20 (P/N) 干式真空泵 小型洁净科研半导体紧凑型真空设备

EBARA 荏原 EV-S20 (P/N) 干式真空泵 小型洁净科研半导体紧凑型真空设备

EBARA 荏原 EV-S20 (P/N) 属于 EV-S 系列紧凑型节能干式真空泵,无油干式结构,体积小巧、重量轻,占地空间很小,是小型腔体、设备内置集成优选。节能转子设计,自带怠速节能模式,低负载自动降转速,能耗在同级别机型里优势明显。P 版本自带氮气吹扫模块,N 版本采用耐蚀合金结构,分别适配洁净工况和轻微腐蚀工况,50/60Hz 下性能保持一致。

 适用行业:半导体负载锁、扫描电镜、质谱分析仪器、高校科研真空平台、光学小型镀膜、精密器件真空封装、设备 OEM 内置配套、锂电小型实验线等。很多精密分析仪器、小型镀膜机内部空间有限,EV-S20 (P/N) 紧凑机身方便嵌入机架,无油输出洁净真空,不会污染样品与光学膜层。运行噪音低、振动微弱,对精密检测、显微观测设备干扰很小,支持 SEMI-S2、CE 合规,信号接口适配仪器控制系统。 

北崎供应 EBARA 荏原 EV-S20 (P/N) 真空泵,日本原厂一手货源,现货交付,原厂技术支持,协助 OEM 设备配套集成。仪器厂商、科研实验室、检测机构大量选用这款机型,替代老旧涡旋泵、油旋片泵。P 款吹扫结构适合微量腐蚀气体,N 款耐蚀材质适合酸性尾气,选型灵活,维护简单,常规保养仅检查滤芯,不用更换真空油,降低实验室运维工作量。





北崎国际主营全品类日本和欧美工业进口设备,核心代理品牌包含:SEN 日森、CCS 晰写速、日本 MTL、NPM 日脉、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、NEWKON 新光、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、TORAY 东丽、EBARA 荏原、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、EYE 岩崎、REVOX 莱宝克斯、TOKI 东机产业、HAYASHI 林时计、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、ANALYZER 第一热研、NFK 南国工业株式会社、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本、SAKAGUCHI 坂口电热、MIYUKI 美幸辉、THOMAS 托马斯。全系原厂正品、渠道稳定、现货配套、技术售后一站式服务。

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