EBARA荏原 EV-S100 (P/N) 干式真空泵 节能无油 光伏半导体洁净真空 简介

EBARA 荏原 EV-S100 (P/N) 干式真空泵 节能无油 光伏半导体中型洁净真空设备

EBARA 荏原 EV-S100 (P/N) 干式真空泵 节能无油 光伏半导体中型洁净真空设备

EBARA 荏原 EV-S100 (P/N) 干式真空泵，EV-S 系列主流中型节能机型，无油干式，在同抽速级别功耗更低，转子智能调速 + 怠速节能，量产产线长时间运行电费优势突出。P 款内置氮气吹扫模块，阻挡工艺副产物沉积；N 款耐蚀合金腔体，耐受弱腐蚀尾气，适配洁净或者轻度腐蚀两类工况，整机占地小，适合洁净车间布局。 

主流应用：半导体负载锁、小型 PECVD、光伏小腔体镀膜、光学连续蒸镀、LED 芯片设备、锂电中试线、真空热处理小炉、复合材料脱泡、设备集成 OEM 配套。中小型量产腔体，对真空洁净度、运行成本都有要求，EV-S100 (P/N) 兼顾稳定洁净真空与低能耗，无油杜绝油返渗污染，保护芯片、光学膜层良率。设备支持 SEMI 工业规范，报警、状态信号齐全，可和工艺机台联动，方便自动化管控。 

北崎供应 EBARA 荏原 EV-S100 (P/N) 真空泵，日本原厂货源，现货供应，原厂技术支持，协助产线配套、吹扫管路设计。不少光电、半导体设备厂商在中型腔体设备上标配该型号，量产稳定性久经验证。相比螺杆干泵，机身小巧，能耗更低，洁净轻腐蚀工况运维压力小，保养周期长，适合追求低运行成本、稳定洁净真空的中小型自动化产线。

北崎国际主营全品类日本和欧美工业进口设备，核心代理品牌包含：SEN 日森、CCS 晰写速、日本 MTL、NPM 日脉、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、NEWKON 新光、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、TORAY 东丽、EBARA 荏原、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、EYE 岩崎、REVOX 莱宝克斯、TOKI 东机产业、HAYASHI 林时计、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、ANALYZER 第一热研、NFK 南国工业株式会社、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本、SAKAGUCHI 坂口电热、MIYUKI 美幸辉、THOMAS 托马斯。全系原厂正品、渠道稳定、现货配套、技术售后一站式服务。