HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计CS-600F说明书

发布时间：2025/2/13

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光纤型化学药液浓度计

　　CS-600F

　　CS-600F 提供适合生产的更高级功能，如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力，减少停机时间的稳定运行，以及提高空间生产率的紧凑尺寸，以满足先进半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。

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　　尺寸更小，布局更灵活

　　CS-600F 浓度计尺寸紧凑，与成熟型号(CS-100F1 系列)相比，高度降低 36%，体积减少 40%，样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。

　　光源单元和浓度计主机可以远程单独安装，支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。

　　高温化学溶液(20 至 80℃)的高稳定性在线测量

　　新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液，这是先进湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F 稳定性高，实现了更有效和准确的化学药液管理。

　　背景校正频率显著降低

　　与成熟型号(CS-100F1系列)相比，定期校正频率显著降低，这反过来又显著减少了机台停机时间，有助于提高产量。

　　单台浓度计可测量多达六种化学药液(药液种类或浓度范围)

　　单台浓度计可测量多达六种化学药液(药液种类或浓度范围)。可自由确定药液类型和浓度范围，CS-600F 保证满足各种检测要求。

　　可输出多达六种组分的测量值(串行输出)

　　成熟型号(CS-100F1 系列)可输出四种组分的测量值(串行输出)。CS-600F新型号能以串行输出方式输出多达六种组分的测量值。CS-600F型号模拟输出四种组分，而CS-100F1型号为两种。