新品瑞士 VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀光学镀膜腔体压力闭环调控部件

更新时间：2026-08-21

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# 2026年新品发布会#

日期：2026年8月21日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

新品瑞士 VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀光学镀膜腔体压力闭环调控部件

光学多层膜镀膜工艺对腔体压力变化十分敏感，压力波动会造成膜层折射率偏移，提升产品不良比例。溅射产生的金属颗粒，还容易造成调节阀卡滞漂移，影响产线连续运行。瑞士 VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀，61.3 系列闭环调压蝶阀，适配光学 PVD 镀膜工艺真空压力管控场景。

VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀搭载步进电机驱动以及板载控制单元，接收外部真空计信号，实时调整阀板开度，实现毫秒级响应，抑制工艺压力超调。阀体针对颗粒沉积做结构优化，降低溅射物附着卡阀概率；FKM 密封组件，整机漏率满足光学镀膜高真空本底需求。阀门支持多种工业通讯协议，可以接入镀膜机 PLC 系统，与溅射电源、气体流量控制器实现工艺时序联动。ISO‑KF 法兰接口，适配新设备装机以及旧设备备件替换。

该蝶阀适用于滤光片镀膜、激光元器件薄膜制备、半导体研发实验线等场景。稳定的压力控制，有助于提升薄膜工艺批次一致性。北崎一手渠道供应瑞士 VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀，原厂全新，可提供镀膜工况阀门调试、真空配件配套选型支持。

新品 瑞士 VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀 光学镀膜腔体压力闭环调控部件

新品瑞士 VAT 61328‑KAAE 真空控制阀蝶阀光学镀膜腔体压力闭环调控部件