产品分类
瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。
可加热各种流体
瞬间且稳定的流体加热
质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热
该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块,加热部分与流体不直接接触,可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。
在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。
通常,配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点,即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心,从而达到稳定加热的目的。
在半导体制造工艺中,不仅需要对气体进行加热处理,气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量,加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构,适合与质量流量控制器输出端连接使用。
最高使用温度达300℃的小型热交换器。
面间距169㎜×长度177㎜的紧凑型设计
可将20SLM的N2气体加热至300℃
适合用于固体升华、液体汽化供给中的载气加热
HX-0051H
导入液体汽化器的载气流量一旦超过5SLM,汽化室温度就会降低,从而影响汽化效率。鼓泡法、固体升华同样存在这一缺陷。要想使汽化或升华反应持续稳定,对载气进行温度管理是必要的要素。HX-0051H系列热交换器的最高使用温度可达300℃,适合对载气进行加热。
流量(N2换算) | 压力损失(N2) | 耐压(G) | 使用温度 | 接触气体部位材质 | |
规格 | 20SLM | 40kPa | 1MPa | 300℃ | SUS316L不锈钢 |
※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。
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