LINTEC林泰克将20SLM的N2气体加热至300℃HX-0051H北崎热卖

更新时间：2025-05-29

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小型气体加热器（热交换器）

瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。

该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块，加热部分与流体不直接接触，可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。

在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。

通常，配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点，即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心，从而达到稳定加热的目的。

在半导体制造工艺中，不仅需要对气体进行加热处理，气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量，加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构，适合与质量流量控制器输出端连接使用。

最高使用温度达300℃的小型热交换器。

HX-0051H

导入液体汽化器的载气流量一旦超过5SLM，汽化室温度就会降低，从而影响汽化效率。鼓泡法、固体升华同样存在这一缺陷。要想使汽化或升华反应持续稳定，对载气进行温度管理是必要的要素。HX-0051H系列热交换器的最高使用温度可达300℃，适合对载气进行加热。

	流量(N2换算)	压力损失(N2)	耐压(G)	使用温度	接触气体部位材质
规格	20SLM	40kPa	1MPa	300℃	SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。