LINTEC林泰克小型热交换器HX-0050A北崎热卖

更新时间：2025-05-29

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小型气体加热器（热交换器）

瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。

该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块，加热部分与流体不直接接触，可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。

在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。

通常，配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点，即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心，从而达到稳定加热的目的。

在半导体制造工艺中，不仅需要对气体进行加热处理，气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量，加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC自主研发的HX系列加热器具备低压降结构，适合与质量流量控制器输出端连接使用。

可将50SLM的N2气体加热至200℃的小型热交换器。

HX-0050A

防止蚀刻设备排气管路堵塞

半导体制造设备和FPD(平板显示器)制造设备情况下，反应气体被送到排除设备的过程中，会部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用热N2气体稀释是解决方法之一，但是仅通过管道外部带状加热器加热无法得到理想的效果。紧凑型热交换器HX-0050A系列可充分加热流体，最大限度减少此类堵塞问题的发生。

	流量(N2换算)	压力损失(N2)	耐压(G)	使用温度	接气体部分材质
规格	50SLM	9.8kPa	1MPa	200℃	SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。