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日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60北崎热卖

更新时间：2025-08-19

浏览次数：35

多级罗茨型干泵

多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。
在FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高良率和可维护性。代表性的泵之一是罗茨式干真空泵。

多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子，它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触，或者转子与壳体不接触，并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构，将其压缩至大气压，并将其排放到大气中。转子外壳内不使用油或其他密封液体，可实现清洁排气。齿轮和轴承使用油进行润滑，但设计了密封结构以防止油进入壳体。

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

特点

高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
“Model:UR"可比“Model:HR"更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等

规格

型号

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

机械增压泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排气速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到达压力

0.67

最大排气压力
（吸入圧力）

大气压 *1

最大排气压力
（吸入圧力）

1~ 大气压

吸气口 (CE规格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排气口

KF40

质量

180

245

275

370

420

电源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

电流值

稳定时

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷却水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷却水出入口压差

MPa

>0.1

冷却水流量

L/min

>5.0

吹扫气

一次压力

MPa

0.1~0.5

二次压力

MPa

0.05~0.1

N2吹扫

轴

SLM

气镇

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。

尺寸图

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

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