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日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 Model:LR北崎热卖

更新时间：2025-08-19      浏览次数：39

多级罗茨型干泵Model:LR

通过低温区域的泵体均热化，在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。




    特点

    • 低温区域均热化（Model:LR）
      在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

    • 氦气密封
      通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

    • 瞬停对策
      采取了1000msec以内瞬停对策。

    • 出色的耐腐蚀性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

    • 通信功能
      可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。







    用途

    • 成膜装置（溅射装置/蒸镀装置等）

    • 缩短备料下料室的排气时间

    • 作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）







    规格

    型号LR60LR90LR180LR421LR421-T
    最大
    排气速度    		50Hz62 m3/h
    (1030 L/min)    		112 m3/h
    (1860 L/min)    		183 m3/h
    (3100 L/min)    		440 m3/h
    (7333 L/min)    		440 m3/h
    (7333 L/min)
    60Hz80 m3/h
    (1333 L/min)    		126 m3/h
    (2100 L/min)    		237 m3/h
    (3950 L/min)
    到达压力5.0 Pa
    最大排气压力 （吸入圧力）　大气压
    最大排气口压力
    （排出圧力）    		1~ 大气压 Pa
    吸气口 (CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
    排气口KF40VG50
    质量180 kg245 kg335 kg415 kg
    电源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
    380~440 VAC(50/60 Hz)
    电流值稳定时6.9 A
    (at 200V)    		11.2 A
    (at 200V)    		18.9 A
    (at 200V)    		20.8 A
    (at 200V)
    最大值7.3 A
    (at 200V)    		11.8 A
    (at 200V)    		20.6 A
    (at 200V)    		48.5 A
    (at 200V)
    冷却水一次压力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷却水出入口压差>0.1 MPa>0.2 MPa
    冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹扫气一次压力0.1~0.5 MPa
    二次压力0.05~0.1 MPa
    氮气吹扫轴5 SLM
    气镇0~45 SLM没有0~45 SLM

    *1 请订购时指定。



    型号LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
    (TT)    		LR3601-RLR3601-TR
    (TTR)
    使用泵干式
    真空泵    		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
    机械
    增压泵    		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
    (-T)    		PRC-036DPRC-036D
    (D-T)
    最大
    排气
    速度    		50Hz359 m3/h
    (5,980
    L/min)    		653 m3/h
    (10,900
    L/min)    		1,012 m3/h
    (16,900
    L/min)    		1,701 m3/h
    (28,350
    L/min)    		3,200 m3/h(53,333 L/min)
    60Hz365 m3/h
    (6,080
    L/min)    		701 m3/h
    (11,700
    L/min)    		1,051 m3/h
    (17,500
    L/min)    		1,784 m3/h
    (29,700
    L/min)
    到达压力0.67 Pa
    最大排气压力
    （吸入圧力）    		大气压
    最大排气口压力
    （排出圧力）    		1~ 大气压 Pa
    吸气口 (CE规格)VG80
    (KF80)    		VG100
    (KF100)    		VG150
    (KF100)    		VG150
    排气口KF40KF50
    MBP表面处理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
    TT:×    		×TR:×
    TTR:〇
    质量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
    电源
    *2    		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
    电流值稳定时7.0 A
    (at 200V)    		12.3 A
    (at 200V)    		13.7 A
    (at 200V)    		21.4 A
    (at 200V)    		31.0 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)    		35.4 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)
    最大值9.6 A
    (at 200V)    		19.0 A
    (at 200V)    		24.2 A
    (at 200V)    		39.8 A
    (at 200V)    		58.4 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)    		82.0 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)
    冷却水
    一次压力    		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷却水
    出入口压差    		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹扫气一次
    压力    		0.1~0.5 MPa
    二次
    压力    		0.05~0.1 MPa
    N2
    吹扫    		轴5 SLM
    气镇0~45 SLM没有 *30~45 SLM没有 *30~45 SLM

    *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。
    *2 请订购时指定。
    *3 根据用途，使用气镇的规格也可报价。



    配饰

    ■消音器 (选项)

    型号材質表面处理重量
    (kg)    		法兰
    接口    		LR
    300    		LR
    600    		LR
    1200    		LR
    1800    		L&
    3601    		LR
    60    		LR
    90    		LR
    180    		LR
    421    		LR
    421-T
    RS-01 +
    kitA    		SUS
    304    		GBB处理4.1
    kg    		KF40〇----〇〇---
    RS-01 +
    kitB    		KF40-〇〇-------
    RS-02 +
    kitA    		8.3
    kg    		KF40〇------〇--
    RS-02 +
    kitB    		KF40-〇〇〇------
    RS-03 +
    kitA    		磨板12.5
    kg    		KF50--------〇〇
    RS-03 +
    kitB    		----〇-----



    排气速度曲线

    • LR60

    LR60_curve.png

    • LR90

    LR90_curve.png

    • LR180

    LR180_curve.png

    • LR421-T

    LR421_curve.png

    • LR300 / LR600

    LR300_600_curve.png

    • LR1200

    LR1200_curve.png

    • LR1800

    LR1800_curve.png

    • LR3601(-R / -TR / -TTR)

    LR3601R_TR_TTR_curve.png

    • LR3601(-T / -TT)

    LR3601T_TT_curve.png






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